[반도체공학] 반도체 사진공정
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작성일 23-01-31 05:54본문
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1. Photolithography Overview
4. Resist Profile
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반도체공정, 사진공정, Photolithography
반도체 공정 중 사진공정에 대한 이론과 방법에 대해 상세히 요약하여 이해와 자료 정리에 도움이 되는 확실한 자료임.
본문내용
10. Emerging Lithography Technologies
설명
포토공정은 IC산업에서 MASK위의 pattern을 film 위에 구현을 하고 그 film은 후속으로 barrier 역할을 한다.
목차
[반도체공학] 반도체 사진공정
-PR-coating 후에 PR 속에 남아 있는 solvent를 기화시켜주며 Pattern의 profile 및 substrate와 adhesion을 증가시켜 주기 위해 진행하는 중요한 공정이다.
6. 사진공정에서의 해상도(Resolution)
레포트 > 공학,기술계열
9. Next-Generation Lithography
-마스크는 종류에 따라 하드마스크와 에멀젼마스크로 구분할 수 있다
1) Masks
2. Critical Dimension, Overall Resolution, Line Width
-wafer 위에 pattern을 구현하기 위한 모체가 되는 pattern을 반복적으로 사용할 수 있게 만든 평판으로 정이한다. 아래 그림은 전반적인 공정 순서를 말하고 있다
반도체 공정 중 사진공정에 대한 theory(이론)과 방법에 대해 상세히 요약하여 이해와 정리(整理) 에 도움이 되는 확실한 임.
7. Photolithography Resolution Enhancement Technology
η= intrinsic viscosity(점성) 오메가= rotations per minute (rpm)
C= polymer concentration in g/100mL solution(농도)
11. Example
2.) Spinning Resist and Soft Baking
3. Lithographic sensitivity and Intrinsic Resist Sensitivity
8. Beyond Moores` Law
5. 사진공정이 민감도의 실험적 결정 및 선명도
-마스크는 음양에 따라서 Dark filed와 Light field 로 나눌 수 있다
다.
순서
Ⅰ. Photolithography Overview
K= overall calibration constant
-점성 및 농도가 클수록 두께는 두꺼워지며 Spin 속도에 따라 두께가 작아진다.